日本CHIYODA千代田精机压力调节器

                            产品型号：EX-M-20

                            简介：CHIYODA千代田精机压力调节器EX-M-20Excellent Mega系列EX-M-20、EX-M-100（电解抛光品） 

1次圧力：20.0MPa以下/調整圧力0.1～1.0MPa、*大流量:50ℓ、150ℓ/min・Air）

He泄漏值：5X10 -11 Pa·m3/秒以下 

EXX－Ｍ－２０ 

[特点]

●超密闭结构，外部泄漏量为5×10-11Pa·m3/秒以下。

●超洁净表面，*大限度地抑制颗粒。

●采用经过超洁净处理的压力表（Clean M）。（所有与气体接触的部件均经过EP（电解抛光，包括VCR配件）处理。）

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