CHIYODA千代田精机压力调节器

                            产品型号：EX-20-PM

                            简介：CHIYODA千代田精机压力调节器EX-20-PMExcellent Mega系列EX-M-20、EX-M-100（电解抛光品） 

一次压力：20.0MPa以下/调整压力0.1～1.0MPa、*大流量：50ℓ、150ℓ/min・空气） 

He泄漏值：5X10 -11 Pa·m3/秒以下 

・EX-M-20 

・EX-M-100 

**Mark II系列 EX-20mkⅡ-G1、G2/EX-100mkⅡ-G1、G2 

一次压力：20.0MPa以下/调整压力0.1～1.0MPa、*大流量：50ℓ、150ℓ/min・空气） 

He泄漏值：1X10 -9/-8 Pa·m3/秒以下 

・EX-20mkⅡ 

・EX-100mkⅡ 

**TD系列EX-20-TD、EX-100-TD（适用于腐蚀性气体，特殊内涂层） 

一次压力：20.0MPa以下/调整压力0.1～1.0MPa、*大流量：50ℓ、150ℓ/min・空气） 

He泄漏值：1X10 -9 Pa·m3/秒以下 

・EX-20-TD 

・EX-100-TD 

优良 PM 系列 EX-20-PM、EX-100-PM（**面板安装型号） 

一次压力：20.0MPa以下/调整压力0.1～1.0MPa、*大流量：50ℓ、150ℓ/min・空气） 

He泄漏值：1X10 -9 Pa·m3/秒以下 

・EX-20-PM 

・EX-100-PM 

Excellent Mega VC系列EX-M-20-VC（电解抛光品/主体连接部分VCR1/4加工） 

一次压力：20.0MPa以下/调整压力0.1～1.0MPa、*大流量：50ℓ/min・空气） 

He泄漏值：5X10 -11 Pa·m3/秒以下 

・EX-M-20-VC 

Excellent Mark II/VC系列EX-20-VC（主体连接部分VCR1/4加工） 

一次压力：20.0MPa以下/调整压力0.1～1.0MPa、*大流量：50ℓ/min・空气） 

He泄漏值：1X10 -9 Pa·m3/秒以下 

・EX-20-VC

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