用于供应半导体制造用材料气体

                            产品型号：EX-600-PM

                            简介：CHIYODA千代田精机压力调节器EX-600-PMExcellent Mega系列EX-M-500、EX-M-600（电解抛光品） 

一次压力：3.0MPa以下/调整压力0.1～1.0MPa、*大流量：50ℓ、150ℓ/min・空气） 

He泄漏值：5X10 -11 Pa·m3/秒以下 

・EX-M-500 

・EX-M-600 

**Mark II系列 EX-500mkⅡ-G1、G2、EX-600mkⅡ-G1、G2 

一次压力：3.0MPa以下/调整压力0.1～1.0MPa、*大流量：50ℓ、150ℓ/min・空气） 

He泄漏值：1X10 -9/-8 Pa·m3/秒以下 

・EX-500mkⅡ 

・EX-600mkⅡ 

优良TD系列EX-20-TD、EX-100-TD（腐蚀性气体用，特殊内涂层） 

一次压力：20.0MPa以下/调整压力0.1～1.0MPa、*大流量：50ℓ、150ℓ/min・空气） 

He泄漏值：1X10 -9Pa·m3/秒以下 

・EX-500-TD 

・EX-600-TD 

Excellent PM 系列 EX-20-PM、EX-100-PM（**面板安装型号） 

一次压力：20.0MPa以下/调整压力0.1～1.0MPa、*大流量：50ℓ、150ℓ/min・空气） 

He泄漏值：1X10 -9Pa·m3/秒以下 

・EX-500-PM 

・EX-600-PM 

Excellent Mega VC系列EX-M-500-VC（电解抛光品/主体连接部分VCR1/4加工） 

一次压力：3.0MPa以下/调整压力0.1～1.0MPa、*大流量：50ℓ/min・空气） 

He泄漏值：5X10 -11Pa·m3/秒以下 

・EX-M-500-VC 

Excellent Mark II/VC系列EX-500-VC（主体连接部分VCR1/4加工） 

一次压力：3.0MPa以下/调整压力0.1～1.0MPa、*大流量：50ℓ/min・空气） 

He泄漏值：1X10 -9Pa·m3/秒以下 

・EX-500-VC

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