日本高纯载气压力调节器

                            产品型号：EX-M-300

                            简介：CHIYODA千代田精机压力调节器EX-M-300Excellent Mega VC系列EX-M-300（电解抛光品） 

一次压力：20.0MPa以下/调整压力0.1～1.0MPa、*大流量：50ℓ/min・空气） 

He泄漏值：5X10 -11Pa·m3/秒以下 

・EX-M-300 

**Mark II系列 EX-300mkⅡ-G1、G2/EX-400mkⅡ-G1、G2 

一次压力：20.0MPa以下/调整压力0.1～1.0MPa、*大流量：50ℓ、150ℓ/min・空气） 

He泄漏值：1X10 -9Pa·m3/秒以下 

・EX-300mkⅡ 

・EX-400mkⅡ

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