高纯载气压力调节器

                            产品型号：ＥＸ－４０００ｍｋⅡ－Ｐ

                            简介：CHIYODA千代田精机压力调节器ＥＸ－４０００ｍｋⅡ－Ｐ半导体用特殊材料ガス、高纯度／超高纯度キャリアガス用圧力调整器 

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エクセレント・メガ・シリーズEX-M-700、EX-M-1000、EX-M-4000（电解研磨品・自力式） 

1次圧力：3.0MPa以下/调整圧力0.1～1.0MPa、*大流量:450ℓ、2000ℓ、5000ℓ/min・Air 

Heリーク値：5X10 -11Pa・m3/sec.以下 

・ＥＸ－Ｍ－７００ 

・ＥＸ－Ｍ－１０００ 

・ＥＸ－Ｍ－４０００ 

エクセレント・マークⅡシリーズEX-700mkⅡ-G1、G2/EX-1000mkⅡ-G1、G2/EX-4000mkⅡ-G1、G2（自力式） 

1次圧力：3.0MPa以下/调整圧力0.1～1.0MPa、*大流量:450ℓ、2000ℓ、5000ℓ/min・Air 

Heリーク値：1X10 -8/-7/-6Pa・m3/sec.以下 

・ＥＸ－７００ｍｋⅡ 

・ＥＸ－１０００ｍｋⅡ 

・ＥＸ－４０００ｍｋⅡ 

エクセレント・マークⅡシリーズEX-1000mkⅡ-P-G1、G2/EX-4000mkⅡ-P-G1、G2（パイロット式） 

1次圧力：3.0MPa以下/调整圧力0.1～1.0MPa、*大流量:2000ℓ、5000ℓ/min・Air 

Heリーク値：1X10 -7/-6Pa・m3/sec.以下 

・ＥＸ－１０００ｍｋⅡ－Ｐ 

・ＥＸ－４０００ｍｋⅡ－Ｐ

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