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YAMAMOTO-MS应变式精密应力计板
产品型号：A-57-15100-1B
简介：YAMAMOTO-MS 山本鍍金試験器螺旋应力计B-72WJ-SG 应变式精密应力计
产品编号
产品名称
件数
B-72-SG-P01W
应变式精密应力计水箱（MODEL-w）
1件
B-72-SG-P02
应变片式精密应力计夹具架（带阳极背）
1套
B-72-SG-P03-1
包含 5 个应变片式精密应力计测试件（铜）
1套
B-72-SG-P04
应变式精密应力计试件保温管
1件
B-50-KTSG121513
不锈钢G型紧固件（宽12mm x 15φ13）
1件
B-72-SG-P06
应变片式精密应力计用阳极板组
（磷铜、镍、SK镍、高纯锡（三菱电解锡）各1个）
一对
B-58WJB
WJB型赫尔电池温度保险丝加热器（AC100V，100W）
一
B-72-SG-P07
应变片式精密应力计用气管
1件
B-57A
赫尔槽气泵A（AC100V）
1件
B-62A
搅拌器（带固定支架）（兼容 Micro Barrel、Smart Hull Cell 和 Smart Cell）
1套
B-93-YTC-P04
YTC、YPP温度传感器（短）总长190mm
1件
B-93-YTC-P02
温度调节器YTC用温度传感器限位器（L型）
1件
A-52-P18
空气过滤器
1件
A-57-15100-1B
应变式精密应力计板
1 单位
A-57-15100WA-J
晶圆精密电镀电源YPP15100WA-J（1mA至10A）
一
A-57-15031WA-J
超精密电镀电源YPP15031WA-J（10μA至3A）
通过用传感器测量基板上的应变，可以实时测量镀层的内应力。
可以在一次测量中测量每个电镀时间（膜厚）的应力。还可以测量在已经镀覆的膜上再次进行镀覆时的应力。可以测量传统应力计无法检测到的微小应力。将专用应力计板插入精密电镀电源YPP系列的插槽中。
特征
● 符合JIS H8626标准。
● 甚至可以测量微弱的压力。适用于测量薄膜、晶圆等弱产品。（对于0.5μm以上的膜厚，可以进行准确的测量）
● 可以测量其他方法无法测量的初始应力。
● 适用于精细零件。
● 传感器获得的数据立即输入连接电源的PC，PC自动计算应力值，无需任何计算。此外，使用计算机实时显示和累积测量的数据。
相关论文
镀膜应力测量方法
电源和压力测量板规格
输入电压
AC100~200V±10%（50/60Hz±5%）
输出电压/输出电流
DC0~15V/0~10A
*小分辨率
1mA/10mV/0.1mC
温控功能
1KW（ON/OFF控制/PID控制）
体重
8.8公斤
兼容操作系统
兼容Windows8,10
产品编号
产品名称
件数
B-72-SG-P01W
应变式精密应力计水箱（MODEL-w）
1件
B-72-SG-P02
应变片式精密应力计夹具架（带阳极背）
1套
B-72-SG-P03-1
包含 5 个应变片式精密应力计测试件（铜）
1套
B-72-SG-P04
应变式精密应力计试件保温管
1件
B-50-KTSG121513
不锈钢G型紧固件（宽12mm x 15φ13）
1件
B-72-SG-P06
应变片式精密应力计用阳极板组
（磷铜、镍、SK镍、高纯锡（三菱电解锡）各1个）
一对
B-58WJB
WJB型赫尔电池温度保险丝加热器（AC100V，100W）
一
B-72-SG-P07
应变片式精密应力计用气管
1件
B-57A
赫尔槽气泵A（AC100V）
1件
B-62A
搅拌器（带固定支架）（兼容 Micro Barrel、Smart Hull Cell 和 Smart Cell）
1套
B-93-YTC-P04
YTC、YPP温度传感器（短）总长190mm
1件
B-93-YTC-P02
温度调节器YTC用温度传感器限位器（L型）
1件
A-52-P18
空气过滤器
1件
A-57-15100-1B
应变式精密应力计板
1 单位
A-57-15100WA-J
晶圆精密电镀电源YPP15100WA-J（1mA至10A）
一
A-57-15031WA-J
超精密电镀电源YPP15031WA-J（10μA至3A）
*产品编号的末尾根据套件中包含的电源而有所不同。
YPP15100WA 套装配电源：B-72WJ-SG-100W
YPP15031WA 套装配电源：B-72WJ-SG-031W
