日本YAMAMOTO-MS硅片用阴极盒

                            产品型号：A-52-STH8-P02

                            简介：YAMAMOTO-MS 山本鍍金硅片用阴极盒晶圆电镀设备 

硅片用阴极盒【标准大电流型】 

2023年新产品 订单生产 

特征 

- 适用于普通厚度的晶圆。(200μm以上) - 高速电镀等时可以设定比通常更高的电流密度。 - 当您想通过全表面电镀增加总电流时适合。 - 镀层也会沉积在电极环的触点（表面点）上。 - 需要定期剥离触点上的镀膜。*晶圆尺寸根据JEITA和SEMI标准制造。我们还生产方形类型。 

规格 

兼容晶圆尺寸 

4～8英寸 

晶圆厚度 

200μm以上 

镀膜厚度 

小于20μm 

耐热温度 

0~65℃ 

材料 

亚克力

SUS304等 

项目编号 

A-52-STH2-P02 

2英寸硅片用阴极盒（标准型/高电流规格） 

A-52-STH3-P02 

3英寸硅片用阴极盒（标准型/大电流规格/4英寸水箱用） 

A-52-STH4-P02 

4英寸硅片用阴极盒（标准型/高电流规格） 

A-52-STH5-P02 

5英寸硅片用阴极盒（标准型/大电流规格/6英寸水箱用） 

A-52-STH6-P02 

6英寸硅片用阴极盒（标准型/大电流/定向平板规格） 

A-52-STH6-P02N 

6英寸硅片用阴极盒（标准型/大电流/缺口规格） 

A-52-STH8-P02 

8英寸硅片用阴极盒（标准型/高电流规格）

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