YAMAMOTO-MS 气泵

                            产品型号：A-63-M202

                            简介：YAMAMOTO-MS 山本鍍金硅片用阴极盒晶圆电镀设备 

A-52硅片电镀实验装置 

这是一款适用于2至12英寸硅片的电镀设备。

通过使用特殊的夹具，可以进行半导体和MEMS的精密电镀。其结构是在不断过滤的同时从水族箱底部产生温和的对流并溢出，有可进行高速搅拌的单侧溢流型和两侧溢流型。使用桨式搅拌直接搅拌。 

也可作为生产设备使用。

此外，我们已获得多项国内外**，目前正在申请多项**。*电脑单独出售 

基材材质 

它不仅可用于硅晶圆，还可用于SiC、玻璃、GaAs、InP等材料制成的基板。 

关于定制生产 

基于标准设备，我们可以定制形状与您的样品相匹配的夹具和双面电镀夹具。我们还拥有阳极氧化和阳极氧化夹具等制造设备的跟踪记录。治具有全封闭式治具、非封闭式治具、卧式治具等多种类型，欢迎随时与我们联系。  

点击此处索取定制产品 

设置细分 

A-52-ST□AWJYPPA 硅片电镀实验装置WJ型（YPP电源用） 

产品编号 

产品名称 

数量 

A-52-ST□-P01A 

硅片水箱（亚克力双层底型） 

1 

A-52-ST□-P02A 

硅片用阴极盒（标准型）（*1） 

1 

A-52-ST□-P09A 

硅片阳极支架（带拉丝阳极背面）（*2） 

1 

A-52-ST□-P04D 

桨式搅拌装置 

1 

B-90-A20-APFA05 /

B-90-A40-APFWJ05 

迷你迷你过滤器20APFA型（2至6英寸用） 

迷你迷你过滤器40APFWJ型（8英寸用） 

1 

A-63-M202

B-92-M10-P04A 

气泵 M202 (AC100V) (2~4inch)

10L 水族箱气泵 (5~8inch) 

1 

A-52-P18 

空气过滤器 

1 

A-52-ST2-P10WJ

B-85WJ

B-83WJB2

B-95-1A 

晶圆水箱加热器 WJ2型（2英寸）

300W PFA涂层加热器（AC100V）

300W石英小型浸入式加热器 WJB型（5-6英寸）

500W石英加热器（8英寸）  

2

1

3

3 

– 

温度传感器、加热器塞 

1 

(*1) 请选择定向平面型/缺口型。备有密封型/吸入密封型。

(*2) 不溶性阳极也备有隔膜型。

(*3) 英寸数填写在产品编号的□标记中。

(*) 这是YPP电源的一套。电源、温度控制器和阳极板单独出售。请与A-57-15031WA、A-57-15100WA、A-57-15101D分开指定电源。PC单独出售。 

强力搅拌水箱（双面溢流式，可实现约两倍的搅拌速度） 

通过将溢流从一侧更改为两侧，桨式搅拌速度已增加至*大 130 rpm。液体搅拌效率提高，电镀更加稳定。我们还增加了液体防溅结构。 

产品编号 

产品名称 

数量 

A-52-ST□-U 

硅片水箱（亚克力双层底型） 

1 

目前该产品为定制产品。请联系我们了解尺寸和规格。 

根据电镀的类型和尺寸，我们可能建议使用 3 面溢流型。

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